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真空式等离子表面清洗机

首页>等离子清洗设备

中型真空等离子清洗机

产品简介

清洗介质为气体,主要有:氮气(N2),氩气(Ar),氢气(H2),氟化氮(NF3),四氟化碳(CF4),压缩空气等···;使用成本低,环保无污染,清洗过程只需几分钟完成,具有高效的特点:

产品详情

1、中型真空等离子清洗机优点
清洗介质为气体,主要有:氮气(N2),氩气(Ar),氢气(H2),氟化氮(NF3),四氟化碳(CF4),压缩空气等···;使用成本低,环保无污染,清洗过程只需几分钟完成,具有高效的特点。

2、产品技术参数

型号

HZ-30L

HZ-60L

HZ-80L

外形尺寸

800*600*1800 MM

800*600*1800 MM

650*520*500

腔体容量

30L

5L

10L

腔体尺寸

300*300*350 MM  

350*450*400 MM

400*450*450 MM

腔体材质

316 不锈钢

等离子发生器

13.56MHZ匹配一体

0-500W可调

13.56MHZ匹配一体

0-500W可调

13.56MHZ匹配一体

0-600W可调

过程控制

全自动控制,手动PLC人机界面

气路控制

高精密浮子流量计(可控两路气体)

真空系统

BSV30(10L/S)

BSV40(13L/S)

BSV60(20L/S)

压力控制

PID闭环自动稳压控制,压力传感,压力检测

真空度

10-30Pa

清洗时间

1-6000秒可调

腔体工作温度

小于35℃

供电电压

380V AC

工作电流

整机不大于10A (不含真空泵)

电极层数

3层

5层

5层

说明:腔体尺寸可定制,参数可根据客户要求制定

3、产品价格
3000元起