一、等离子刻蚀
在等离子体刻蚀过程中，通过处理气体的作用，刻蚀的物体变成气相(例如，当使用氟气腐蚀硅时，下图)。处理后的气体和基体物质由真空泵抽出来，表面连续覆盖着新鲜的气体覆盖。不希望被蚀刻部分要使用材料覆盖(例如，半导体工业用铬作为覆盖材料)。

等离子法也用于刻蚀塑料表面，通过氧气可以灰化混合物。蚀刻法在塑料印刷和粘接做为预处理手段是十分必要的，如POM、PPS、PTFE等。等离子体可以大幅度地增加润湿面积。

二、塑料、玻璃和陶瓷的表面活化和清洗

塑料、玻璃和陶瓷由于性能优良、成本低廉，其薄膜、片材及各种制品在日常生活中大量地应用着。而氟塑料则因具有优异的化学稳定性、卓越的介电性能和极低的摩擦系数以及自润滑作用，使其在一些特殊领域中具有重要的用途。但是，这类材料在应用过程中，不可避免地会遇到同种材料之间或与其它材料的粘接问题，因此，人们曾对这类难粘高分子材料的难粘原因及表面处理方法进行了不断深入的研究。
等离子处理不会损坏样品，同时可以十分均匀地处理整个表面，不会产生有害烟气，中空和带缝隙的物品也能处理，具有环保意义，占用很小工作空间，成本低廉。
等离子简单处理效果可以用水来验证，处理过的样品表面完全被水润湿。

三、等离子涂镀

聚合过程演示

在涂镀中两种气体进入反应舱，气体在等离子环境下聚合，这种应用比等离子表面活化清洗要求更为严格一些。涂镀层非常保，仅几微米，常用的情况有环几物涂水防渡，类似PTFE材质的涂镀，亲水涂镀。

四、金属表面去油及清洁
金属表层常有机质层和金属氧化物层，如植物油脂、油垢等。在磁控溅射、喷漆、粘合、电焊焊接、铜焊和PVD、CVD镀层前，必须采取等离子技术处理才可以得到彻底清洗、无氧化作用的表层

灰化表面有机层（表面受到化学轰击）演示

氧化物去除（金属氧化物与处理物体发生化学反应）演示

五、PTFE刻蚀和灰化
PTFE的混合物必须小心处理，以免填充物过于暴露，等离子技术可以让表面最大化，这样塑料可以进行粘合、印刷等操作。没经正确处理，ptfe不可以包装印刷或粘接。大家都知道，应用活性氧碱土金属能提高吸附力，但这类办法不容易把握，且水溶液含毒。运用等离子技术法既可以保护生态环境，又能获得不错的效果，如下图

PTFE的混合物必须小心处理，以免填充物过于暴露，等离子技术可以让表面最大化，这样塑料可以进行粘合、印刷等操作。